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探索RockPlus SECS/GEM平台 - 賦能半導體(tǐ)行業設備互聯

摘要
合共軟件研發的RockPlus SECS/GEM平台爲半導體(tǐ)設備提供SECS/GEM協議的數據轉發服務,使設備能和EAP通訊。它擔任通訊的橋梁,一(yī)端通過通訊接口連接設備軟件或硬件,一(yī)端通過SECS/GEM協議通訊接口連接EAP系統,實現設備SECS/GEM協議通訊接口的開(kāi)放(fàng)。

SECS/GEM協議,全稱爲半導體(tǐ)設備通訊标準/通用設備模型(SECS/Generic Equipment Model),是一(yī)種廣泛應用于半導體(tǐ)制造行業的通信協議。它定義了半導體(tǐ)設備與工(gōng)廠主控系統(如MES)之間的通信方式,使得設備能夠自動化地報告狀态、執行命令和交換數據。


合共軟件研發的RockPlus SECS/GEM平台爲半導體(tǐ)、光伏(PV)及電(diàn)子等高科技行業設備提供SECS/GEM協議的數據轉發服務,使設備能和EAP通訊。它擔任通訊的橋梁,一(yī)端通過通訊接口連接設備軟件或硬件,一(yī)端通過SECS/GEM協議通訊接口連接EAP系統,實現設備SECS/GEM協議通訊接口的開(kāi)放(fàng)。對于常見半導體(tǐ)的設備單晶爐、氣相外(wài)延爐、分(fēn)子束外(wài)延系統、氧化爐(VDF)、低壓化學氣相澱積系統(LPCVD)、等離(lí)子體(tǐ)增強化學氣相澱積系統(PECVD)、磁控濺射台(MSA)、化學機械抛光機(CMP)、光刻機、反應離(lí)子刻蝕系統(RIE)、ICP等離(lí)子體(tǐ)刻蝕系統、濕法刻蝕與清洗機、離(lí)子注入機(IBI)晶片減薄機、晶圓劃片機(DS)、引線鍵合機(Wire Bonder)等,SECS/GEM平台提供了預制的對接指令,直接配置使用,無需編寫代碼,大(dà)大(dà)節省了對接的時間成本。

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RockPlus SECS/GEM平台專爲以下(xià)用戶群體(tǐ)設計:


(1) 實施産線自動化或舊(jiù)設備改造的半導體(tǐ)制造工(gōng)廠:對于這些工(gōng)廠而言,SECS/GEM平台提供了一(yī)種簡便的方法來集成和升級其生(shēng)産線,使之支持SECS/GEM通訊接口。


(2) 需求開(kāi)放(fàng)SECS/GEM協議通訊接口的半導體(tǐ)設備供應商(shāng):供應商(shāng)可以利用SECS/GEM平台快速開(kāi)發和實現與SECS/GEM協議兼容的通訊接口,從而擴大(dà)其産品的市場适應性。


(3) 無SECS/GEM通訊接口的EAP或MES的實施商(shāng):對于這些實施商(shāng)來說,SECS/GEM平台提供了一(yī)種高效的途徑來擴展其系統功能,使其能夠與遵循SECS/GEM協議的設備無縫集成。


RockPlus SECS/GEM平台具備以下(xià)優勢特點:


(1)廣泛的協議支持:平台支持包括 SEMI E5(SECS-II), E30(GEM), E37(HSMS)在内的多種協議,保證了與各類半導體(tǐ)設備的兼容性。


(2)多接口數據集成:平台支持OPC DA, OPC UA, Web Service, API和Restful等多種接口,這意味着它能夠輕松對接不同的數據源,并将這些數據有效地集成到制造執行系統或其他企業級應用中(zhōng)。


(3)多設備數據集成轉發:SECS/GEM平台能夠處理來自多個設備的數據,實現數據的集成轉發。這對于大(dà)規模生(shēng)産環境中(zhōng)設備數據的統一(yī)管理和分(fēn)析尤爲重要。


(4)多SECS/GEM連接接口:平台支持多個SECS/GEM連接接口,使得同時與多個設備或系統的通訊成爲可能,增強了生(shēng)産線的靈活性和擴展性。


RockPlus SECS/GEM平台爲半導體(tǐ)制造業提供了一(yī)個高效、靈活且兼容性強的設備互聯解決方案,幫助企業提高生(shēng)産效率,降低成本,同時保持對市場變化的快速響應能力。

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